First Sensor: MEMS-Inertialsensoren für Bauwerksüberwachung

Auf den schnell wachsenden Markt smarter Bauwerksüberwachung zielt First Sensor mit einer neuen Generation hochgenauer kapazitiver Silizium-Inertialsensoren.

First Sensor Bildquelle: © First Sensor

Sie bieten die erforderliche Auflösung und geringe Rauschdichte, um Vibrationen oder Neigungsänderungen an Windkraftwerken, Brücken oder Hochhäusern zu erfassen und so Gefährdungen in der Statik, oder Substanz frühzeitig auf die Spur zu kommen. Integriert in smarte Lösungen lässt sich so die Sicherheit von Bauwerken im täglichen Betrieb, aber auch nach besonderen Ereignissen wie Stürmen, Erdbeben, großen Belastungen oder Veränderungen im Fundamentbereich sehr kosteneffizient gewährleisten.

Um diese Aufgaben erfüllen zu können, erreichen die Inertialsensoren von First Sensor ja nach Bandbreite Auflösungen von 10 µg oder 0,0005° (2 Bogensekunden). Neben Standardmodellen bietet First Sensor auch mechanisch und elektrisch auf spezielle Kundenanwendungen angepasste Module an. Zur Unterstützung von Projekten und Entwicklern stehen Evaluation-Kits für die einfache und schnelle Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung.

Die einkristallinen Silizium-Mikrostruktur der MEMS von First Sensor, mit ihrem großen Aspektverhältnis (HARMS) gewährleistet geringste Querempfindlichkeit, große Signal-Rausch-Abstände und eine sehr gute Temperaturstabilität. First Sensors patentierte AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) minimiert zudem parasitäre Kapazitäten durch die Isolation der Komponenten mit einem Luftspalt. Als Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30° erreichen die Sensoren dadurch eine Rauschdichte kleiner 0,0004°/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Als Beschleunigungssensoren eingesetzt, bieten die MEMS von First Sensor Messbereiche von ±3 g, ±8 g sowie ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz.