Micro-Epsilon-Messtechnik

interferoMETER misst sub-nanometergenau

10. August 2020, 20:44 Uhr | Hagen Lang
© Micro-Epsilon-Messtechnik GmbH

Drei Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon bringen neue Präzisionslevel bei der Abstands- und Dickenmessung: Bis kleiner 30 Pikometer beträgt die Auflösung der neuen interferoMETER, die für verschiedene Anwendungen angeboten werden.

Die interferoMETER bestehen aus einem Controller, einem Sensor und einem Lichtleiterkabel. Die Sensoren sind für industrielle Messaufgaben entwickelt worden. Verschiedene Ausführungen stehen zur Verfügung: das IMS5400-DS für Abstandsmessungen, das IMS5400-TH für Dickenmessungen und das IMS5600-DS mit vakuumtauglicher Ausführung für Abstandsmessungen in Sub-Nanometer-Genauigkeit.

Micro-Epsilons MS5400-TH wird zur Dickenmessung von dünnen transparenten Materialien eingesetzt. Die Messung erfolgt mit einem Sensor unabhängig vom Abstand zum Messobjekt, wodurch Flattern oder Positionierunregelmäßigkeiten ignoriert werden können. Dank der nah-infraroten Lichtquelle können auch Dickenmessungen von anti-reflexbeschichtetem Glas durchgeführt werden.

Das IMS5400-DS wird zur industriellen Abstandsmessung eingesetzt. Es liefert absolute Messwerte und kann Stufen und Kanten ohne Signalverlust erfassen. Die Sensoren erlauben die Integration in beengten Bauräumen.

Für Abstandsmessungen im Reinraum und im Vakuum (bis UHV) ist das IMS5600-DS konzipiert. Ein Sonderabgleich des Controllers ermöglicht eine Sub-Nanometer-Auflösung, die beispielsweise bei der Wafer-Ausrichtung oder bei der Stagepositionierung erforderlich ist.

Die Anbindung ist über zahlreiche analoge und digitale Schnittstellen wie Ethernet und EtherCAT möglich. Die Konfiguration erfolgt über ein Webinterface für Inbetriebnahme und Parametrierung.

 

 


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