Micro Epsilon

Konfokale Weg- und Dickenmessung

12. September 2019, 15:00 Uhr   |  Nicole Wörner

Konfokale Weg- und Dickenmessung
© Micro Epsilon

Der konfokale Sensor bietet eine Auflösung von 3 nm, einen großen Verkippungswinkel sowie einen 3 µm kleinen Lichtpunkt Bild: MicroEpsilon

Der Sensor confocalDT IFS2407-0,1 von Micro-Epsilon eröffnet neue Anwendungsfelder in der konfokalen Weg- und Dickenmessung.

Der Messbereich des Sensors beträgt 100 µm. Der kleine Messbereich kombiniert mit einer hohen Auflösung von 3 nm ermöglicht es, transparente Schichten wie Glas oder Kunststofffolien bereits ab 5 µm hochgenau zu erfassen. Praxisgerecht ist auch der große Verkippungswinkel. Dieser ergibt sich durch die numerische Apertur, dem Grad der Bündelung der Lichtstrahlen in diesem optischen System, die einen Wert von NA 0,8 bzw. NA 0,7 erreicht.

In Zusammenspiel mit dem Lichtpunktdurchmesser von nur 3 µm können feinste Strukturen erfasst und Rauheitsmessungen durchgeführt werden. Beispielsweise werden fein gehonte Oberflächen wie z.B. Bremsscheiben – deren Strukturen für das menschliche Auge eher wie glatt polierte Flächen wirken – mit diesen Sensoren überprüft. 

Der confocalDT IFS2407-0,1 von Micro Epsilon ist in zwei Versionen verfügbar: die Standardvariante mit NA 0,8 für hochpräzise Messungen bei Rauheit und dünnen Schichten sowie die lichtstarke Option mit NA 0,7 für schnelle Messungen mit kurzer Belichtungszeit und für dunkle Oberflächen.

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