Patentierte Schwingungsmesstechnik

Verkapselte MEMS testen

26. August 2020, 15:25 Uhr   |  Nicole Wörner

Verkapselte MEMS testen
© Polytec

Präzise Untersuchung der Dynamik von MEMS und anderen Mikrostrukturen per Laser-Doppler-Vibrometrie (LDV)

Mit einer patentierten Schwingungsmesstechnik bietet Polytec die Prüfung verkapselter MEMS-Bausteine nun auch als Dienstleistung an.

Für die Untersuchung der Dynamik von MEMS und anderen Mikrostrukturen hat sich die Laser-Doppler-Vibrometrie (LDV) etabliert. Da sie aber typischerweise mit sichtbaren Wellenlängen arbeitet, kann sie die Siliziumverkapselung von MEMS nicht durchdringen und damit verkapselte MEMS auch nicht direkt untersuchen.

Polytec hat dafür eine Lösung entwickelt und patentiert: Die Charakterisierung mit Lichtquellen im nahinfraroten Bereich erlaubt es, die Kapsel eines solchen MEMS zu durchdringen und zu vermessen, ohne sie öffnen zu müssen. Denn Silizium ist im nahen Infrarotspektrum oberhalb von 1050 nm Wellenlänge transparent.

Die auf Infrarot-Interferometern basierende Schwingungsmesstechnik von Polytec misst auf reales Schwingverhalten, liefert repräsentative Ergebnisse und bietet hohe Datenqualität aufgrund der expliziten Trennung der einzelnen Bauteilschichten (Layer) in verkapselten MEMS.

Mit den Messdienstleistungen bei Polytec können Kunden die Technologie nutzen, auch wenn sie kein eigenes Messsystem besitzen, und experimentelle Modalanalysen, Machbarkeitsstudien und Beratung in sämtlichen Projektphasen beauftragen. 

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