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Fraunhofer IPT

Gestengesteuertes High-Speed-Mikroskop

4. Juni 2019, 12:22 Uhr | Hagen Lang

Die Gestensteuerung des High-Speed-Mikroskopes, das Proben mit bis zu 500 Bildern pro Sekunde digitalisiert, ist über sogenannte Smart Glasses realisiert

Mit bis zu 500 Bildern pro Sekunde digitalisiert das vom Fraunhofer IPT entwickelte High-Speed-Mikroskop großflächige Objekte aus der Halbleiter- und Elektronikindustrie sowie weiteren Branchen.

Vollständige Prüfungen müssen bei Mikroskopaufnahmen mit hohen Vergrößerungen großer Bauteile oft entfallen, da der Zeitbedarf hierfür sehr hoch ist. Stattdessen greift man auf Stichprobenuntersuchungen zurück.

Um diese Fehlerquelle im Produktionsprozess abzustellen, hat das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT einen Aufnahmeprozess entwickelt, der eine große Vielzahl an Aufnahmen zu einem großen Gesamtbild kombiniert. Der Mikroskoptisch bewegt dabei das Objekt kontinuierlich während der gesamten Aufnahme, um die Probe mit sehr hohen Bildraten zu digitalisieren.

Da das Objekt jeweils nur extrem kurz mit einem Blitz belichtet wird, ist die Aufnahme frei von Bewegungsunschärfe und wird mittels echtzeitfähiger Hardware-Autofokussysteme an jeder Stelle scharf abgebildet. Zusätzlich wurden sogenannte »Smart Glasses« entwickelt, die dem Anwender mittels 3D-Brille eine virtuelle, interaktive Umgebung darstellen.

Da die Brille mit einem Sensor zur Gestenerkennung verbunden ist, kann der Anwender durch Handbewegungen das angezeigte Bild steuern. Das Zoomen, Einfrieren und Speichern der vom System zu einem großen Gesamtbild zusammengefügten hochauflösenden Mikroskopaufnahmen funktioniert per Gestensteuerung.