Schmid: Auftragsschub für APCVD-System

»Die PV-Produktionsumstellung auf PERC steht bevor!«

29. Mai 2013, 9:24 Uhr | Karin Zühlke
Schematischer Querschnitt einer PERC-Zelle Bild: Schmid Group
© Schmid Group

Die PERC-Zellen sind nach Überzeugung der Schmid Group die Zukunft der kristallinen Photovoltaik. Für deren Herstellung hat der PV-Fertigungsausrüster einen vollständigen Prozess entwickelt und auch bereits in der Massenfertigung erprobt. Demonstrieren wird Schmid seine Technik auf der Intersolar.

Die PERC-Zellen mit passiviertem selektiven Emitter und Rückseitenkontakten bestehen aus kristallinem Silizium. Zur Rückseitenpassivierung werden eine Aluminiumoxidschicht und zwei Deckschichten auf das Basismaterial abgeschieden. Die Zellen erreichen nach Angaben von Schmid Effizienzwerte von mindestens 20 Prozent – vorausgesetzt der von Schmid entwickelte Prozess wird angewendet. Schmid hat gemeinsam mit Schott Solar einen Beschichtungsprozess für die Rückseitenpassivierung mit Aluminiumoxid entwickelt. Der Unterschied zur klassischen PECVD-Technik besteht darin, dass der PERC-Prozess ohne Vakuumtechnik auskommt und deshalb einfacher ist als das herkömmliche Herstellungsverfahren. Nach den Berechnungen der Schmid Group ist das Aufbringen der notwendigen Passivierungs- und Deckschichten mit dem von Schmid entwickelten APCVD-System um etwa 40 bis 50 Prozent günstiger als mit alternativen PECVD-Verfahren.

Nun erwartet Schmid für 2013 einen Auftragsschub für ihr APCVD-System zur industriellen Massenproduktion von Zellen auf p-Typ- und n-Typ-Cz-Basismaterial. Bereits Herbst 2012 haben Schott Solar und Schmid auf der PVSEC damit für Aufsehen gesorgt. Zwar ist Schott Solar mittlerweile aus der kristallinen PV-Produktion ausgestiegen, forscht aber dennoch weiter, und die Rückseitenpassivierung wurde in Lizenz an Schmid vergeben.

Schmids APCVD eignet sich neben der Passivierung auch zur Beschichtung mit PSG und BSG für die Dotierung. BSG ist zur Herstellung von n-Typ-Zellen interessant, die keine lichtinduzierte Degradation zeigen und Potenzial für hohe Wirkungsgrade aufweisen. Seit Jahren sind fast einhundert APCVDs der US-amerikanischen Mutter Schmid Thermal Systems erfolgreich in speziellen Anwendungsfeldern im Einsatz, z.B. zur Herstellung dotierter Gläser in der Halbleiterindustrie oder zur Fertigung hocheffizienter Solarzellen.

Zwei Anlagen hat Schmid seit Jahresanfang bereits verkauft, an einen Zellhersteller und an ein Institut. Das bestätige das wachsende Interesse von Industrie und Forschungsseite an der APCVD-Produktionstechnologie, so Dr. Christian Buchner, Leiter der PV-Sparte von Schmid. Die beiden Anlagen werden zur Entwicklung von PERC, n-Typ PERL- (Passivated emitter, locally diffused) und PERT- (Passivated emitter, totally diffused) Zellkonzepten eingesetzt.

»Wenn die Nachfrage nach Solarzellen, wie von Experten vorausgesagt, mittelfristig weltweit explosiv ansteigt, können Zellhersteller nicht mehr mit Technologie aus dem Jahr 2011 antreten. Jetzt ist grundsätzlich der richtige Zeitpunkt, um die Produktionslinien auf die Herstellung von PERC-Zellen aufzurüsten«, erklärt Buchner. »Bei der Entscheidung über den Maschinenpark punkten wir als derzeit einziger PV-Zulieferer mit einem vollständigen Prozess und dem dazugehörigen Anlagenkonzept aus einer Hand.« Das PERC-Portfolio von Schmid reicht von der nasschemischen Rückseitenreinigung über die APCVD-Beschichtung bis zum Laseröffnen der beschichteten Rückseite. Alle Anlagen sind einfach in bestehende Produktionslinien zu integrieren.

Intersolar 2013, Halle A5, Stand 490


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